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用于制取磷酸二苯一異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機磷農藥，長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機合成的氯化劑和催化劑、阻燃劑。電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業，集成電路，分離器件，光線預制棒等液態磷源也可制備磷酸酯。